什么是氧化退火炉？​

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-03-08

氧化退火炉是一种用于材料处理的专业设备，主要在半导体制造、金属加工等行业发挥关键作用。它能够营造特定的高温环境，同时控制炉内气氛，让材料经历氧化和退火两种不同但相互关联的过程。氧化过程中，材料表面与氧气发生反应，形成一层氧化膜，这层膜在半导体工艺里可作为绝缘层等关键结构。退火则是通过加热材料至特定温度并保持一段时间，随后缓慢冷却，以此消除材料内部应力，改善晶体结构，提升材料的性能，如增强金属的韧性、改善半导体材料的电学特性等。​

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