卧式炉与立式炉相比，有哪些不同特点？​

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-03-08

卧式炉在空间布局上较为扁平，与立式炉垂直紧凑的结构不同。卧式炉的炉腔相对宽敞，更适合装载尺寸较大、形状特殊的半导体材料或晶圆批次。在气流组织方面，卧式炉内的气流走向与立式炉有别，不过通过合理设计，也能实现较为均匀的气体分布，保障工艺反应的一致性。在装卸料操作上，卧式炉通常采用水平方向的进出料方式，相比立式炉垂直装载，在某些情况下可能更便于大型载具的操作，但对洁净环境的维护要求同样严格，以防止杂质污染晶圆。​

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