LIBS技术如何用于分析薄膜和表面涂层的厚度和组成？

莱森光学(深圳)有限公司2025-02-20

在半导体行业，LIBS被用来分析薄膜和表面涂层的元素组成及其厚度。通过测量薄膜的光谱信号，LIBS可以精确分析涂层中金属、半导体材料或绝缘层的组成，从而验证生产工艺的精确性。此外，LIBS还可以帮助检测表面涂层中的杂质或缺陷，对提高半导体元件的可靠性和性能至关重要。

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简介：莱森光学专注于光谱传感和光电应用系统的研发、生产和销售，为科研及工业用户提供先进技术的集成解决方案。

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