昆明微型干式真空泵优点

时间:2020年01月30日 来源:

干式真空泵的特殊处理:由于化工、制药等相关工艺气中会不同程度含有易燃、易爆以及腐蚀性气体,所以干式真空泵需要特殊处理。干式螺杆真空泵内部结构简单,两根转子、泵腔均可做防腐处理,可选用镍磷涂层和特氟龙两种涂层。爪式真空泵很难做防腐处理,各级隔板之间几乎无法做表面处理,转子表面的防腐涂层也容易在装配时损伤。无油涡旋真空泵只适合抽洁净的气体,不能抽取易燃、易爆及具有腐蚀性的气体。昆明微型干式真空泵优点

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干式真空泵的稳定性:干式螺杆真空泵性能稳定,噪音低,故障率低;无油往复真空泵结构简单,噪音较高,需要经常更换滑片。爪式真空泵由于装配复杂,转子与轴不为一体,出现故障需全部重新拆解装配,反复装配从而降低产品性能及稳定性。昆明微型干式真空泵优点

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干式真空泵的真空度:干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵极限真空度都很高,较高极限真空均可达到1-2Pa;无油往复真空泵为粗真空设备,极限真空度低,需要搭配罗茨真空泵提高极限真空。

双圆裂片式设计和目前流行且较广应用的罗茨泵非常相似。事实上,一些早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

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干式机械真空泵的应用是较广的,主要有以下几个方面: 1 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中; 2 半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒; 3 除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求; 4 在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵; 5 用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。烟台罗茨干式真空泵机组

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