昆明循式干式真空泵厂

昆明循式干式真空泵厂, 干式机械真空泵的应用是较广的，主要有以下几个方面： 1 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中； 2 半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒； 3 除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求； 4 在化学工业，干式真空泵、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵； 5 用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

淄博沃德气体设备有限公司位于淄博科技工业园内，是一家集气体应用设备设计、研发、制造、销售为一体的技术型真空系统制造企业。产品主要有单、多级罗茨和气冷罗茨真空泵，爪泵，高真空油扩散泵等真空泵。公司依托于高素质的团队，持续的创新能力，为用户提供质量的产品、专业的技术咨询和完善的服务。 沃德公司秉承产品为应用服务、应用源于流程的研发宗旨，为您的工艺流程提供好的解决方案和合理的系统配置。公司拥有先进的加工设备和测试手段，保证了产品质量。公司结合不同行业流程需要相继研发出多级罗茨泵、 复合型多级泵等产品， 并研制开发VIP/STP真空绝热板包装机真空系统、减顶抽真空系统、电厂高效节能真空装置、RH干式真空冶炼机组，广泛应用于建筑、电厂、钢铁冶炼、石油、化工、制药等多领域。 沃德公司不仅为您提供品质高的真空产品，而且提供专业的技术咨询及服务。为了满足不同行业的需要，沃德公司设计和生产气冷罗茨式真空泵、爪式真空泵、高真空油扩散泵以及相关真空机组等真空获得设备以及相关配套产品。在真空获得领域，沃德公司的产品覆盖了整个从低－中真空的范围（1个大气压~10－4Pa。）在真空应用领域，可为用户设计制造真空干燥机、真空负压装置、真空吸附工作台、真空给湿机、真空浓缩、真空蒸馏、全自动真空包装机、真空冶炼等各种设备并提供相应的技术支持。 沃德公司，始终视为客户提供全线真空解决方案为已任。 凭借多年的经验，充分了解客户的要求，洞悉真空系统问题的关键所在。

干式真空泵的真空度：干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵极限真空度都很高，较高极限真空均可达到1-2Pa；无油往复真空泵为粗真空设备，极限真空度低，需要搭配罗茨真空泵提高极限真空。

昆明循式干式真空泵厂, 干式真空泵的特殊处理：由于化工、制药等相关工艺气中会不同程度含有易燃、易爆以及腐蚀性气体，所以干式真空泵需要特殊处理。干式螺杆真空泵内部结构简单，两根转子、泵腔均可做防腐处理，可选用镍磷涂层和特氟龙两种涂层。爪式真空泵很难做防腐处理，各级隔板之间几乎无法做表面处理，转子表面的防腐涂层也容易在装配时损伤。无油涡旋真空泵只适合抽洁净的气体，不能抽取易燃、易爆及具有腐蚀性的气体。

干式真空泵的稳定性：干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率低；无油往复真空泵结构简单，噪音较高，需要经常更换滑片。爪式真空泵由于装配复杂，转子与轴不为一体，出现故障需全部重新拆解装配，反复装配从而降低产品性能及稳定性。

昆明循式干式真空泵厂, 干式真空泵的抽气量：无油涡旋真空泵由于内部结构问题，抽气量较小，只适用于小抽气量的工艺中；干式螺杆真空泵型号齐全，可适用大抽气量工艺中，配合罗茨真空泵可以满足不同客户的需求。